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半導体製造装置の計測とモニタリング

​高精度かつ安定した計測機器が、半導体製造装置を取り巻くミクロ環境の厳密な制御を可能にします。

ヴァイサラは、相対湿度と気圧計測用のコンパクトなOEMモジュールをご提供しています。

Semiconductor tool manufacturing, monitoring while manufacturing semiconductor tools, microenvironment monitoring systems from Vaisala.
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