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半導体製造装置の計測とモニタリング

​高精度かつ安定した計測機器が、半導体製造装置を取り巻くミクロ環境の厳密な制御を可能にします。

ヴァイサラは、相対湿度と気圧計測用のコンパクトなOEMモジュールをご提供しています。

Semiconductor tool manufacturing, monitoring while manufacturing semiconductor tools, microenvironment monitoring systems from Vaisala.
    推奨機種
    • HUMICAP® HM70 ハンディタイプ湿度温度計 
    • 変換器の現場校正やスポットチェック用に設計。認定校正サービスあり。
    • PTU300シリーズ 気圧湿度温度変換器 
    • 湿度、温度、気圧を一台の変換器で測定することができます。気圧の測定精は2つのクラスから選ぶことができます。大型ディスプレイによる数値・グラフ表示。インサーネット接続が可能なオプションの(W)LANインターフェースでネットワークへ接続することも出来ます。
    • BAROCAP®デジタル気圧計PTB330 
    • 広範囲・高精度の計測に対応した新世代の気圧計。航空分野や専門的な気象観測業務のほか、高い精度を求められる工業用気圧計測に最適。
    • HUMICAP® HMP110 湿度温度プローブ 
    • 故障が少なく費用効率に優れ、高い精度と安定性を備えた湿度変換器。多数のプローブを必要とする環境や、OEM装置への組み込みに好適。
    • HUMICAP® HMT120/HMT130 湿度温度変換器 
    • クリーンルームの温湿度モニタリング用変換器。高い精度が求められるHAVC用途にも対応。
    • INTERCAP® HMP60湿度温度プローブ 
    • 簡単操作で耐久性と費用効率に優れた湿度プローブ。多数のプローブを必要とする環境や、OEM装置への組み込み、インキュベータ、グローブボックス、温室、発酵室、データロガーでの使用に最適。
    • BAROCAP®気圧計PTB110 
    • 室温での正確な気圧計測と一般環境での広い温度範囲での環境大気圧モニタリングが可能。
    • HMM100環境試験槽用湿度モジュール 
    • 環境チャンバーへの組み込みに適したオープンフレームモジュール。相対湿度(RH)または露点(Td)をアナログ出力1チャンネルで計測。
    • OEMモジュール 
    • 相対湿度・温度計測用の各種OEM用モジュール。
    Vaisala News記事